সুবিধাদি:
পাম্পের এই সিরিজটি কঠোর পরিবেশগত (উচ্চ তাপমাত্রা, ধুলো ইত্যাদি), কর্মক্ষমতায় স্থিতিশীল এবং দীর্ঘ সেবা জীবন এবং সহজ রক্ষণাবেক্ষণ এবং সুবিধাজনক অপারেশনের অধীনে পারফরম্যান্সে ভাল।
অ্যাপ্লিকেশন:
প্রধান অ্যাপ্লিকেশন শিল্প ফুটো সনাক্তকরণ, PVD, CVD, আয়ন ইমপ্লান্টেশন, ভ্যাকুয়াম ইলেকট্রনিক উপাদান উত্পাদন, কম ই গ্লাস, ITO গ্লাস, অপটিক্যাল আবরণ, সৌর কোষ, ইলেকট্রন বিম welালাই, ভ্যাকুয়াম চুল্লি এবং অন্যান্য শিল্প
বিশেষ উল্লেখ:
চক্রের উন্নত পার্শ্ব ( | DN400 ISO-K | গ্যাস জুড়ে (sccm) | N2: 5500 |
চক্রের উন্নত পার্শ্ব (আউট) কেএফ | ডিএন 100 | তিনি : 4000 | |
পাম্পিং গতি (এল/এস) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
তিনি : 2650 | আর : 2100 | ||
H2: 1280 | ঘূর্ণন গতি (rpm) | 13500 | |
আর : 3200 | রান-আপ সময় (মিনিট | -18 | |
তুলনামূলক অনুপাত | N2: 108 | কুলিং টাইপ, স্ট্যান্ডার্ড | জল |
তিনি : 103 | শীতল জল খরচ (এল/মিনিট) | -১ | |
H2: 102 | কুলিং পানির তাপমাত্রা () | -25 | |
আর -108 | পাওয়ার সংযোগ: ভোল্টেজ (V এসি | DC24/AC220 | |
চূড়ান্ত চাপ (Pa) | 6 × 10-6 | সর্বোচ্চ বিদ্যুৎ খরচ (ওয়াট) | -১১০০ |
সর্বোচ্চ ক্রমাগত ফোর-ভ্যাকুয়াম চাপ (Pa) | 100 | নিয়ন্ত্রক মডেল | FD-III |
সর্বোচ্চ ফোর-ভ্যাকুয়াম চাপ | N2: 300 | ওজন (কেজি) | 130 |